• 
• 
• 
• 
• 

Koolstoftetrafluoride CAS 75-73-0

Koolstoftetrafluoride is het meest gebruikte plasmakaarsgraveergas in de micro-elektronica-industrie. Het is een mengsel van zeer zuiver gas en zeer zuiver koolstoftetrafluoridegas met zeer zuivere zuurstof....

Release tijd：2025-04-25

• 
• 
• 
• 
• 
• 

Koolstoftetrafluoride CAS 75-73-0

Productnaam: Koolstoftetrafluoride Koolstoftetrafluoridegas Tetrafluormethaan Perfluorkoolstof

Productkwaliteit: analytische kwaliteit

Productzuiverheid: 99,999%

Verpakkingsspecificatie: 40L

Chinese naam: elan

Chinese alias: µ

CAS: 75-73-0

EINECS: 200-896-5

Moleculaire formule: CF4

Molecuulgewicht: 88

Fysische en chemische eigenschappen:-Smeltpunt: -184 ℃

Koolstoftetrafluoride is het meest gebruikte plasma-kaarsgraveergas in de micro-elektronica-industrie. Het is een mengsel van zeer zuiver gas en zeer zuiver koolstoftetrafluoridegas met zeer zuivere zuurstof.

1. Het kan op grote schaal worden gebruikt in de kaarsgravure van silicium, siliciumdioxide, siliciumnitride, fosforsiliciumglas en wolfraam dunne filmmaterialen. Voor silicium-en siliciumdioxidesystemen kan bij gebruik van CF4-H2 reactieve ionenetsen, door aanpassing van de verhouding van de twee gassen, een selectiviteit van 45:1 worden verkregen, wat erg handig is bij het etsen van siliciumdioxidefilms op polysiliciumpoorten.

2. Het wordt ook veel gebruikt bij het reinigen van het oppervlak van elektronische apparaten, productie van zonnecellen, lasertechnologie, gasfase-isolatie, lage temperatuur koeling,

lekdetectiemiddel, controle van de houding van de ruimteraket en ontsmettingsmiddel bij de productie van gedrukte schakelingen.

3. Vanwege de extreem sterke chemische stabiliteit kan CF4 ook worden gebruikt in de metaalsmeltindustrie en de kunststofindustrie.

4. Koolstoftetrafluoride heeft een goede zuurstofoplosbaarheid, dus het wordt door wetenschappers gebruikt om gewone perslucht te vervangen in ultradiepe duikexperimenten. Het is met succes gebruikt op muizen en muizen kunnen nog steeds veilig ontsnappen op een diepte van 275 tot 366 meter.

• Vorige: Elektronische kwaliteit koolstof tetrafluoride CF4 99,999%
• Volgende: Zwaveltetrafluoride SF4